半導(dǎo)體電子超純水電阻率溶解氧標(biāo)準(zhǔn)及監(jiān)測(cè)解決方案

2025.07.07　瀏覽量：750 次

在半導(dǎo)體和電子行業(yè)中，超純水的水質(zhì)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程和產(chǎn)品質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。超純水的電阻率和溶解氧是衡量水質(zhì)的關(guān)鍵指標(biāo)，直接影響到半導(dǎo)體器件的制造和電子產(chǎn)品的性能。因此，嚴(yán)格遵守相關(guān)的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)并進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)是確保生產(chǎn)順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的重要保障，下面就和贏潤(rùn)集團(tuán)工作人員一起來(lái)了解一下吧！

根據(jù)《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》，電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水水質(zhì)的電阻率和溶解氧標(biāo)準(zhǔn)可以分為以下七個(gè)類(lèi)型：

類(lèi)型	電阻率 (MΩ·cm @ 25℃)	溶解氧 (μg/L)
E-1	18.1	25
E-1.1	18.2	10
E-1.2	18.2	3
E-1.3	18.2	10
E-2	16.5	-
E-3	12	-
E-4	0.5	-

這些標(biāo)準(zhǔn)為半導(dǎo)體和電子行業(yè)提供了明確的水質(zhì)要求，確保超純水在生產(chǎn)過(guò)程中能夠滿足高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。

為了確保超純水的水質(zhì)符合上述標(biāo)準(zhǔn)，贏潤(rùn)集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ1S-A-A4水質(zhì)電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀和ERUN-SZ4-A-A5水質(zhì)微量溶解氧在線分析儀，為超純水的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)提供了高效、可靠的解決方案。

ERUN-SZ1S-A-A4水質(zhì)電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀主要特點(diǎn)：
★高精度測(cè)量：采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
★實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：能夠連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)超純水的電阻率，及時(shí)發(fā)現(xiàn)水質(zhì)變化。
★數(shù)據(jù)傳輸：支持 4-20 mA 模擬量信號(hào)和 RS485（ModBus-RTU）數(shù)字量信號(hào)遠(yuǎn)程傳輸監(jiān)控，方便用戶(hù)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)管理。
★防護(hù)等級(jí)高：設(shè)備具有 IP65 防護(hù)等級(jí)，能夠有效防止灰塵和水濺，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。
★低功耗設(shè)計(jì)：采用低功耗設(shè)計(jì)，確保設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，減少維護(hù)成本。

ERUN-SZ4-A-A5水質(zhì)微量溶解氧在線分析儀主要特點(diǎn)：
★高靈敏度檢測(cè)：采用先進(jìn)的光學(xué)傳感器技術(shù)，能夠高靈敏度地檢測(cè)微量溶解氧。
★實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：能夠連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)超純水中的溶解氧濃度，確保水質(zhì)符合標(biāo)準(zhǔn)。
★數(shù)據(jù)傳輸：支持 4-20 mA 模擬量信號(hào)和 RS485（ModBus-RTU）數(shù)字量信號(hào)遠(yuǎn)程傳輸監(jiān)控，方便用戶(hù)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)管理。
★防護(hù)等級(jí)高：設(shè)備具有 IP65 防護(hù)等級(jí)，能夠有效防止灰塵和水濺，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。
★低功耗設(shè)計(jì)：采用低功耗設(shè)計(jì)，確保設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，減少維護(hù)成本。

贏潤(rùn)集團(tuán)的水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
▲半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)超純水的電阻率和溶解氧，確保水質(zhì)符合生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。
▲電子行業(yè)：在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中，監(jiān)測(cè)超純水的水質(zhì)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
▲實(shí)驗(yàn)室研究：為研究人員提供準(zhǔn)確的水質(zhì)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，支持相關(guān)研究和開(kāi)發(fā)工作。
▲工業(yè)生產(chǎn)：在其他需要高純水的工業(yè)生產(chǎn)中，監(jiān)測(cè)水質(zhì)，確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行。

在半導(dǎo)體和電子行業(yè)中，超純水的電阻率和溶解氧是關(guān)鍵的水質(zhì)指標(biāo)。通過(guò)嚴(yán)格遵守相關(guān)的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)并使用先進(jìn)的監(jiān)測(cè)設(shè)備，如贏潤(rùn)集團(tuán)的 ERUN-SZ1S-A-A4 水質(zhì)電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀和 ERUN-SZ4-A-A5 水質(zhì)微量溶解氧在線分析儀，可以有效確保超純水的水質(zhì)符合生產(chǎn)要求，保障生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量。選擇合適的監(jiān)測(cè)設(shè)備，讓水質(zhì)管理變得更加智能、高效。